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SCHNEEBERGER entwickelt Positioniersystem für den Einsatz in der Wafer-Produktion. Aufgrund höchst anspruchsvoller Kundenanforderungen hat SCHNEEBERGER verschiedene Lösungen mit CFK-Komponenten erarbeitet. Ein Beispiel ist das neue Double Gantry System. Highlights sind die Achsanordnung und der Einsatz von Verbundwerkstoffen. Dadurch sollen sich die Positioniergeschwindigkeiten im Vergleichzu bisherigen Systemen verdoppeln lassen.
CFK im Einsatz in hochdynamischen Präzisionsachsen
Die Chipherstellung erfolgt über einen lithografischen Schichtaufbau auf einer Silizium-Scheibe (Wafer) im Reinraum.
Zur Qualitätssicherung werden im Herstellungsprozess regelmässig kritische Dimensionen geprüft (Wafer-Metrology). Diese Messungen prüfen Dimensionen <20nm.
Der Wafer wird dazu unter dem Messinstrument mittels einem Positioniersystems bewegt. Die Entwicklung und Herstellung dieser Positioniersysteme ist die Aufgabe der Business Unit Systems.
Systeme Film
Das Bedürfnis unserer Kunden:
Zuverlässige und präzise Produkte.
Unsere Lösung:
Massgeschneiderte Systeme, von Einzelachsen mit integrierten Steuerungseinheiten bis hin zu hochkomplexen Maschinen.
SCHNEEBERGER Übersicht Linearführungen und Postioniersysteme
Fachartikel/Anwendungsbeispiele
Bewegungen ohne Wenn und Aber
Hochgenau und schnell: Positioniersysteme für die Halbleiterindustrie verfahren mit bis zu 3 m/s bei 10 BeschleunigungJetzt downloaden
Pressemitteilungen
Neues Positioniersystem 450 mm verdoppelt Positioniergeschwindigkeit
Für Innovationen bekannt, entwickelt die Firma Schneeberger derzeit ein neues Positionier- und Bewegungssystem, das den Namen „Double Gantry“ tragen wird.
Jetzt downloaden
Kundenspezifische Positioniersysteme mit hohem Reinheitsgrad
Positioniersysteme, die in besonders anspruchsvollen Industriezweigen wie der Halbleiterindustrie, und weitere zum Einsatz kommen, müssen höchste Präzision sowie Zuverlässigkeit gewährleisten. Jetzt downloaden
SCHNEEBERGER Positioniersysteme
Kundenspezifische Positioniersysteme mit hohem Reinheitsgrad. Anforderungen, die Schneeberger Linear Technology mit seinen kundenspezifischen Lösungen bestens erfüllt. Jetzt downloaden
Vorteile vom CFK- Komponenten
- 30% Reduktion der bewegten Masse
- Spezifische Steifigkeit der Bauteile um Faktor 2.5 erhöht
- 40% höhere 1. Eigenfrequenz des Systems
- 30% geringere M&S Zeit (Move & Settle Time)
- Erforderliche Bauteiltoleranzen eingehalten (z.B. Parallelität)
- System-Spezifikationen können sicher eingehalten werden (z.B. Drift)
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Roggwil (Schweiz):
Zentrale von SCHNEEBERGER,
Hauptsitz des Geschäftsbereichs
