シュネーベルガーの製品にご興味をお持ちいただき、ありがとうございます。お客様のニーズと、私たちの提案できるソリューションに関して、詳しい話し合いができるよう、ご連絡をお待ちしています。お客様のご要望をお聞かせください。
シュネーベルガーは、超精密位置決めステージシステムを半導体ウェーハ製造ユーザー向けに開発。 ユーザーからの高い仕様要求に対応する為、様々なCFRP(炭素繊維強化プラスチック)を採用したソリューションを開発。
例えばまったく新しいダブルガントリーシステム。特徴は、各軸の配置及び複合材料の採用により、位置決め速度が従来の位置決めシステムに比べ倍速を実現。
半導体製造は、クリーンルーム内でシリコンウェーハ上に幾つもの露光工程を行います。
高い品質確保の為、幾つもの寸法検査を製造工程で行いそれらの計測検査寸法は20μm未満です。「このプロセスでは、ウェーハは下の計測機器に位置決め装置で移され、それらの位置決め装置の開発をシステムビジネスユニットがその役割を担いました。」
お客様の要件:
高い信頼性と高い精度の製品。
当社のソリューション:
統合コントロールユニットを備えた短軸から高度に複雑なマシンまで対応します。