非常感谢您对 SCHNEEBERGER 产品感兴趣。我们很乐意联系您,以了解您的需求并提出我们的相应解决方案。请将您的需求发送给我们,我们将做出回复。
EUV,除气、泵送时间、稳定性和磁扰是在真空系统布置过程中考虑的主要参数。此外,针对您要求严苛的环境和性能,提供与完美的运动解决方案相关的所有其他关键参数。
我们的系统专门开发而成,可通过集成从直线电机(包括特定屏蔽)至压力驱动装置和特殊线缆的特定组件,在 10^-9 mbar 的分压条件下运行。
所有相关的机械部件(铝和/或 SUS)均为内部生产,以保持清洁度并完美控制除气过程。
所有的真空系统都在我们的洁净室内进行装配、测试和包装,经特别设计可满足您的生产节奏需求
お客様の要件:
高い信頼性と高い精度の製品。
当社のソリューション:
統合コントロールユニットを備えた短軸から高度に複雑なマシンまで対応します。