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SCHNEEBERGER针对晶片生产开发了定位系统。为了满足最苛刻的客户需求，SCHNEEBERGER开发出了一系列CFRP组件解决方案。其中一个例子就是新的双台架系统。该系统的亮点在于车轴设计和复合材料的使用。相对于先前的系统，其定位速度加倍。
CFRP在高动态精密轴中的使用
在洁净室中，通过硅晶片（晶圆）上的光刻层结构制造芯片。
为了确保质量，在制造过程中定期进行严格的尺寸检验（晶片计量）。测量精度可达到<20nm。
晶片可在测量仪器下，借助定位系统来移动。定位系统的开发和生产是系统业务部的任务。
Systems 电影
お客様の要件：
高い信頼性と高い精度の製品。
当社のソリューション：
統合コントロールユニットを備えた短軸から高度に複雑なマシンまで対応します。
SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems
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New positioning system doubles positioning speed for 450 mm
Revolutionary double gantry from Schneeberger. Known for innovation, Swiss firm Schneeberger AG Lineartechnik is currently developing a new positioning system that will bear the name Double Gantry. 现在下载
SCHNEEBERGER Positioning Systems
Customer-specific positioning systems with a high degree of purity. Positioning systems used in particularly demanding branches of industry. 现在下载
SCHNEEBERGER Positioning Systems - in different industries
In semiconductor, medical engineering, and solar technology must guarantee the highest level of precision and reliability whilst at the same time maintaining an extremely high degree of purity. 现在下载
CFRP组件的优点
- 降低30％的移动质量
- 部件的比刚度提高了2.5倍
- 系统的第一固有频率提高40％备注：此句与上句合并了
- M&S时间（起动和整定时间）减少了30％
- 符合部件公差要求（如平行度）
- 可保证系统功能（例如漂移）
